半導(dǎo)體工業(yè)空氣過(guò)濾器的必要性
信息來(lái)源:http://qfrunfengjx.com/ 發(fā)布時(shí)間:2014/2/2 11:08:04 點(diǎn)擊數(shù):
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過(guò)濾器
當(dāng)今,半導(dǎo)體廠對(duì)生產(chǎn)環(huán)境潔凈程度非常挑剔,對(duì)空氣過(guò)濾器的要求也越來(lái)越苛刻,而在半導(dǎo)體廠,半導(dǎo)體廠用空氣過(guò)濾器起著非常重要的作用,是不可缺少的,下面我們就一起來(lái)了解一下。
空氣中海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵,但空氣中海鹽粉塵顆粒比較大,普通過(guò)濾器就能將其過(guò)濾掉。有人說(shuō)搞電子工業(yè)理想地點(diǎn)應(yīng)該遠(yuǎn)離海岸,可沿海地區(qū)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá),芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū),在過(guò)濾器上多花點(diǎn)錢就是了。
活性炭過(guò)濾器過(guò)濾等級(jí)技術(shù)可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零,你想要多干凈都能達(dá)到。當(dāng)芯片上的線寬小到0.5mm時(shí),人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害,于是,在線寬小于0.5mm的芯片廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了精密空氣過(guò)濾器。精密空氣過(guò)濾器的原理和制造工藝并不復(fù)雜,它就是活性炭過(guò)濾器,但傳統(tǒng)的活性炭過(guò)濾器制造廠和軍工廠沒(méi)有搭上芯片廠這班車,芯片廠的深圳活性炭過(guò)濾器大都是空調(diào)過(guò)濾器的制造廠家提供的。
化學(xué)污染物的來(lái)源可能是:室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數(shù)情況下,設(shè)計(jì)師和現(xiàn)場(chǎng)人員也說(shuō)不清污染物的種類和濃度,因此,為他們提供的化學(xué)過(guò)濾器至少應(yīng)具有兩個(gè)特點(diǎn):廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料。所謂廣譜吸附就是對(duì)什么都能多少吸附些,能有這種功能的就是普通、便宜的顆;钚蕴俊H绻艽_定污染物種類,就可以對(duì)活性炭材料進(jìn)行有針對(duì)性的化學(xué)處理,以增強(qiáng)對(duì)特定污染物的吸附能力。過(guò)濾器供應(yīng)商有時(shí)還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)服務(wù),以幫助用戶確定反滲透過(guò)濾器的使用情況,這就要求供應(yīng)商中有搞化學(xué)過(guò)濾的有經(jīng)驗(yàn)的人,并與名氣大的化學(xué)實(shí)驗(yàn)室有密切的關(guān)系。
半導(dǎo)體工業(yè)并不是人們普遍認(rèn)為的“無(wú)煙工業(yè)”,也就是說(shuō)它也是有環(huán)境問(wèn)題的,稍不小心就會(huì)造成嚴(yán)重的化學(xué)污染。因此,為了保險(xiǎn)起見(jiàn),半導(dǎo)體廠一般都會(huì)使用空氣過(guò)濾器。
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